QUE-VZ-24-03: Samostatně stojící HMDS systém / Stand-alone HMDS system

Popis předmětu

Jedná se o zařízení obsahující topnou desku. Díky tomu je za zvýšené teploty nadeponována tenká vrstva hexamethyldisilazanu, jakožto adhezního promotoru, pro následné zvýšení adheze spincoatovaných polymerních rezistů ke křemíkovým a skleněným substrátům. S využitím tohoto procesu je tedy eliminována chybovost výroby veškerých následných litografických procesů způsobená delaminací rezistů. Navíc díky systému s deskou vhodnou pro 8” podložní substráty, které jsou v dnešní době běžně průmyslovým standardem, je možné vyrábět větší množství čipů najednou, což snižuje časovou náročnost i finanční náklady na ostatní procesy. Tímto systémem bude dosažena nejen vyšší reprodukovatelnost vyrobených čipů ale i jejich přesnost, jelikož je tento systém vybaven výsuvnými piny, díky kterým je možné vhodněji nastavovat i vzdálenost mezi substrátem a topnou deskou dle požadavků daných procesů.