UPT-VZ-21-05: Plasmatický systém
Basic Information
PROCUREMENT PROCEDURE NAME
UPT-VZ-21-05: Plasmatický systém
Contracting authority
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.NEN system number
N006/21/V00018152
CURRENT STATUS OF THE PROCUREMENT PROCEDURE
Cancelled
DIVISION INTO LOTS
No
PROCUREMENT PROCEDURE ID ON THE CONTRACTING AUTHORITY'S PROFILE
P21V00018152
Public contract regime
Small-scale public contract
PROCUREMENT PROCEDURE TYPE
Otevřená výzva
SPECIFICATIONS OF THE PROCUREMENT PROCEDURE
Zakázka malého rozsahu
Type
Public supply contract
Estimated value (excl. VAT)
1 450 000,00
Currency
koruna česká
Date of cancellation
03. 08. 2021 00:00
DATE OF PUBLICATION ON PROFILE
13. 07. 2021 11:25
Submission Specifications
DEADLINE FOR SUBMITTING TENDERS
27. 07. 2021 10:00
Contact Person of the Contracting Authority
Title before name
Mgr.
Name
Zoja
Surname
Tesař Svobodová
zoja@isibrno.cz
Phone 1
+420 541514350
Phone 2
+420 777603000
Subject-Matter
SUBJECT-MATTER DESCRIPTION
Plazmatický systém, jenž je předmětem VZ, musí mít takové parametry, aby bylo možné jeho použití v mikro výrobních aplikacích, např. před a po litografických operacích. Zejména musí být zajištěna dostatečná čistota procesu při čištění/ aktivaci křemíkových desek a skleněných masek před depozicí rezistů, nebo funkčních anorganických vrstev, i následně při stripování vrstev rezistů nebo funkčních vrstev po litografických operací. Součástí PS musí být reaktivní iontová elektroda se zabudovaným řízením a měřením teploty umožňující proces reaktivního iontového leptání (RIE). Radiofrekvenční (RF) generátor plazmatického systému musí umožnovat plynulé nastavení výkonu plazmatického procesu od nulové hodnoty až po maximální hodnotu pracovního výkonu při zajištění automatického ladění RF generátoru. Plasmatický systém jako celek, tj. včetně jednotlivých komponent, z kterých se skládá, musí být uzpůsoben pro práci s korozivními plyny (O2, CF4, SF6 ..). Součástí dodávky plazmatického systému nejsou tlakové láhve s pracovními plyny.
Code from the NIPEZ code list
22520000-1
Name from the NIPEZ code list
Zařízení pro suché leptání
Main place of performance
Jihomoravský kraj
Code from the CPV code list
22520000-1
Name from the CPV code list
Zařízení pro suché leptání
Text field for describing the place of performance
Brno, Královopolská 62/147
Subject-Matter Items
| Show detail | ITEM DESCRIPTION | |||
|---|---|---|---|---|
| Zařízení pro suché leptání | 22520000-1 | Zařízení pro suché leptání |
Place of Performance
| CZ064 | Jihomoravský kraj |
Additional Information
AWARDED ON THE BASIS OF A FRAMEWORK AGREEMENT
No
AWARDED IN A DNS
No
THE RESULT OF THE PP WILL BE THE IMPLEMENTATION OF A DNS
No
This is a framework agreement
No
Imported public contract
No
Publication Records in the NEN System
| Show detail | ||||
|---|---|---|---|---|
| 03. 08. 2021 13:01 | Uveřejnění zadávacích podmínek | |||
| 13. 07. 2021 11:25 | Uveřejnění zadávacích podmínek |